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文章詳情
UV紫外線燈及其在LCD制造過程中的作用
日期:2025-04-22 21:17
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摘要:
一、紫外線
紫外線光是一種波長范圍為1360×10-10m~3900×10-10m的不可見光線。按波長范圍可分為A、B、C三波段和真空紫外線:①A波段320nm~400nm;②B波段275~320nm;③C波段200nm~275nm;④V波段---真空紫外線100~200nm。各種波長范圍的紫外線光的作用是不同的,有些是用來**的、有些是用來清洗的、有些是用來光刻的、有些是用來固化的。紫外線燈按照啟動與工作方式可以分為瞬間啟動型、冷陰極型、熱陰極型,而對于同樣耗電的情況,瞬間啟動型的照射功率強。另外,燈的照射功率還隨周圍及管壁的溫度而變化,因此必須控制好紫外線燈周圍及管壁的溫度,以使紫外燈發(fā)揮佳的效果。
二、LCD制造過程中UV紫外線的作用
在整個液晶顯示器LCD的制造過程中,可以說離不開紫外線光,沒有紫外線光的使用,液晶顯示器就無法進(jìn)行生產(chǎn)。下面將對其在LCD生產(chǎn)過程中所起的作用進(jìn)行詳述。
1、在光刻方面:
(1)、圖形制作:利用365~405nm波長(A波段)的紫外線光對涂有光刻膠的ITO玻璃進(jìn)行一定時間的照射后,由于光刻膠吸收了一定的光能量,發(fā)生了光化學(xué)反應(yīng),使光刻膠的性能發(fā)生改變,受光部分經(jīng)過顯影液能溶解掉,露出ITO膜,然后用蝕刻液將露出的ITO膜蝕刻掉,從而得到與掩模版完全一致的ITO圖形。
(2)、取向膜涂覆版的制作:
取向膜涂覆版通常稱為APR膠版,其結(jié)構(gòu)如下:
下面是一層橡膠基板,基板上有一層一定厚度的感光材料,上、下貼附一層塑料保護(hù)膜。
制版前先將APR版的上、下保護(hù)膜撕掉,將菲林版貼在APR膠版的感光材料面上,并使用真空吸附的方法將菲林與APR膠版緊緊貼合在一起,然后利用365nm波長的紫外光進(jìn)行一定時間的照射。由于紫外光的作用,受紫外光照射的感光材料層發(fā)生變化,當(dāng)用特定的沖洗液進(jìn)行沖洗后,沒受感光部分的感光材料就被洗出,從而制作出APR膠版。
2、光固化方面:
(1)、UV固化膠的固化
光固化目前主要是在液晶顯示器的后制程中得到廣泛應(yīng)用,用于液晶盒的封口和固定PIN管腳。這主要是利用紫外線光照射紫外固化膠,使膠發(fā)生化學(xué)交聯(lián)和聚合作用,達(dá)到固化,從而形成牢固的封口及將PIN管腳牢固地固定。目前使用的紫外光波長主要是365nm。由于UV固化膠具有固化時間快、接著力強、耐熱、耐濕等優(yōu)點,目前已經(jīng)推廣應(yīng)用到前制程的封邊框上。
(2)、TOP的UV固化
在STN-ITO玻璃上涂覆絕緣膜SiTi并進(jìn)行預(yù)固化后,TOP層的物質(zhì)形態(tài)為以離子形式存在的層狀疏松結(jié)構(gòu),硬度很低。采用UV固化裝置對ITO玻璃上的絕緣膜TOP層進(jìn)行良好的紫外光照射,使絕緣膜上含有的聚合體、單體、光聚合劑等感光性材料吸收了高能量的紫外光后,發(fā)生"光集合交聯(lián)反應(yīng)",使離子之間發(fā)生交聯(lián),TOP層的物質(zhì)形態(tài)變成網(wǎng)狀緊密結(jié)構(gòu),再經(jīng)過后固化后,其硬度就大大增加,達(dá)到降低后固化的溫度和提高表面硬度的目的。
3、光清洗與光改質(zhì)
(1)UV光清洗
在液晶顯示器的制造過程中,對ITO玻璃上的潔凈度要**非常之高的,要生產(chǎn)線間距和線寬為10μm的產(chǎn)品,并且保證成品率,對曝光前的涂膜要**相當(dāng)之高。要提高涂膜的效果,先要保證玻璃是潔凈的。在以往的清洗技術(shù)(化學(xué)清洗和物理清洗)中,經(jīng)常很難達(dá)到這種潔凈度要求。如何提高玻璃表面的潔凈度,提高敷膜的效果呢?目前國外得到廣泛使用的是UV紫外光清洗,它一方面能避免由于使用有機溶劑造成的污染,同時能夠?qū)⑶逑催^程縮短。其工作原理是利用紫外光子對有機物質(zhì)所起的光敏氧化作用以達(dá)到清洗粘附在物體表面上的有機化合物(碳?xì)浠衔铮┑哪康摹?br>在實際應(yīng)用中,通常是利用一種能產(chǎn)生兩種波長的紫外燈,這種UV燈能夠產(chǎn)生波長為254nm、185nm的紫外光(通常185nm波長的僅為254nm波長光的20%)。其工作過程是:大多數(shù)有機化合物對其中254nm波長的紫外光有較強的吸收能力,它們在吸收了紫外光之后,分解為離子、游離態(tài)原子、受激分子和中性分子,這即光敏作用。而大氣中的氧氣在吸收了波長為185nm的紫外光子后產(chǎn)生臭氧O3和原子氧O,產(chǎn)生的O3對254nm波長的紫外光又具有強烈的吸收作用,在光子的作用下,臭氧又會分解為氧氣和原子氧O,由于原子氧極其活潑,物體表面上的碳和氫化合物的光敏分解物在它的氧化作用下化合成可揮發(fā)性氣體:二氧化碳、氮氣和水蒸氣等逸出物體表面,從而達(dá)到徹底**粘附在物體表面上的頑固有機物質(zhì)的目的。
紫外線光是一種波長范圍為1360×10-10m~3900×10-10m的不可見光線。按波長范圍可分為A、B、C三波段和真空紫外線:①A波段320nm~400nm;②B波段275~320nm;③C波段200nm~275nm;④V波段---真空紫外線100~200nm。各種波長范圍的紫外線光的作用是不同的,有些是用來**的、有些是用來清洗的、有些是用來光刻的、有些是用來固化的。紫外線燈按照啟動與工作方式可以分為瞬間啟動型、冷陰極型、熱陰極型,而對于同樣耗電的情況,瞬間啟動型的照射功率強。另外,燈的照射功率還隨周圍及管壁的溫度而變化,因此必須控制好紫外線燈周圍及管壁的溫度,以使紫外燈發(fā)揮佳的效果。
二、LCD制造過程中UV紫外線的作用
在整個液晶顯示器LCD的制造過程中,可以說離不開紫外線光,沒有紫外線光的使用,液晶顯示器就無法進(jìn)行生產(chǎn)。下面將對其在LCD生產(chǎn)過程中所起的作用進(jìn)行詳述。
1、在光刻方面:
(1)、圖形制作:利用365~405nm波長(A波段)的紫外線光對涂有光刻膠的ITO玻璃進(jìn)行一定時間的照射后,由于光刻膠吸收了一定的光能量,發(fā)生了光化學(xué)反應(yīng),使光刻膠的性能發(fā)生改變,受光部分經(jīng)過顯影液能溶解掉,露出ITO膜,然后用蝕刻液將露出的ITO膜蝕刻掉,從而得到與掩模版完全一致的ITO圖形。
(2)、取向膜涂覆版的制作:
取向膜涂覆版通常稱為APR膠版,其結(jié)構(gòu)如下:
下面是一層橡膠基板,基板上有一層一定厚度的感光材料,上、下貼附一層塑料保護(hù)膜。
制版前先將APR版的上、下保護(hù)膜撕掉,將菲林版貼在APR膠版的感光材料面上,并使用真空吸附的方法將菲林與APR膠版緊緊貼合在一起,然后利用365nm波長的紫外光進(jìn)行一定時間的照射。由于紫外光的作用,受紫外光照射的感光材料層發(fā)生變化,當(dāng)用特定的沖洗液進(jìn)行沖洗后,沒受感光部分的感光材料就被洗出,從而制作出APR膠版。
2、光固化方面:
(1)、UV固化膠的固化
光固化目前主要是在液晶顯示器的后制程中得到廣泛應(yīng)用,用于液晶盒的封口和固定PIN管腳。這主要是利用紫外線光照射紫外固化膠,使膠發(fā)生化學(xué)交聯(lián)和聚合作用,達(dá)到固化,從而形成牢固的封口及將PIN管腳牢固地固定。目前使用的紫外光波長主要是365nm。由于UV固化膠具有固化時間快、接著力強、耐熱、耐濕等優(yōu)點,目前已經(jīng)推廣應(yīng)用到前制程的封邊框上。
(2)、TOP的UV固化
在STN-ITO玻璃上涂覆絕緣膜SiTi并進(jìn)行預(yù)固化后,TOP層的物質(zhì)形態(tài)為以離子形式存在的層狀疏松結(jié)構(gòu),硬度很低。采用UV固化裝置對ITO玻璃上的絕緣膜TOP層進(jìn)行良好的紫外光照射,使絕緣膜上含有的聚合體、單體、光聚合劑等感光性材料吸收了高能量的紫外光后,發(fā)生"光集合交聯(lián)反應(yīng)",使離子之間發(fā)生交聯(lián),TOP層的物質(zhì)形態(tài)變成網(wǎng)狀緊密結(jié)構(gòu),再經(jīng)過后固化后,其硬度就大大增加,達(dá)到降低后固化的溫度和提高表面硬度的目的。
3、光清洗與光改質(zhì)
(1)UV光清洗
在液晶顯示器的制造過程中,對ITO玻璃上的潔凈度要**非常之高的,要生產(chǎn)線間距和線寬為10μm的產(chǎn)品,并且保證成品率,對曝光前的涂膜要**相當(dāng)之高。要提高涂膜的效果,先要保證玻璃是潔凈的。在以往的清洗技術(shù)(化學(xué)清洗和物理清洗)中,經(jīng)常很難達(dá)到這種潔凈度要求。如何提高玻璃表面的潔凈度,提高敷膜的效果呢?目前國外得到廣泛使用的是UV紫外光清洗,它一方面能避免由于使用有機溶劑造成的污染,同時能夠?qū)⑶逑催^程縮短。其工作原理是利用紫外光子對有機物質(zhì)所起的光敏氧化作用以達(dá)到清洗粘附在物體表面上的有機化合物(碳?xì)浠衔铮┑哪康摹?br>在實際應(yīng)用中,通常是利用一種能產(chǎn)生兩種波長的紫外燈,這種UV燈能夠產(chǎn)生波長為254nm、185nm的紫外光(通常185nm波長的僅為254nm波長光的20%)。其工作過程是:大多數(shù)有機化合物對其中254nm波長的紫外光有較強的吸收能力,它們在吸收了紫外光之后,分解為離子、游離態(tài)原子、受激分子和中性分子,這即光敏作用。而大氣中的氧氣在吸收了波長為185nm的紫外光子后產(chǎn)生臭氧O3和原子氧O,產(chǎn)生的O3對254nm波長的紫外光又具有強烈的吸收作用,在光子的作用下,臭氧又會分解為氧氣和原子氧O,由于原子氧極其活潑,物體表面上的碳和氫化合物的光敏分解物在它的氧化作用下化合成可揮發(fā)性氣體:二氧化碳、氮氣和水蒸氣等逸出物體表面,從而達(dá)到徹底**粘附在物體表面上的頑固有機物質(zhì)的目的。
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